Турбовакуумная система STP/D1

Турбовакуумная система STP/D1 – это вакуумная система, выполненная в виде автономных мобильных высоковакуумных откачных постов, созданных на основе современных высоковакуумных турбомолекулярных насосов SST 81 и SST 301. Они обеспечивают достижение вакуума порядка (1 х 10-7) мбар абс. в откачиваемых герметичных объемах.

Область применения

Турбомолекулярный откачной пост STP пригоден для следующего использования:

• получение сверхвысокого вакуума в откачиваемом объекте
• электронная микроскопия
• напылительная техника и установки

Конструкция

Турбомолекулярный откачной пост состоит из турбомолекулярного насоса SST 81 (SST301) с контроллером, мембранного насоса MP 601 Tp, измерительного прибора CAP120, электромагнитного клапана серии VS 16 M с интегрированной электроникой.Все элементы турбомолекулярного поста собраны на передвижной колонне, подключены электрически. Пост готов к эксплуатации.